Herstellung von diamantartigen Kohlenstoffschichten für verschiedene funktionelle Anwendungen

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Herstellung von diamantartigen Kohlenstoffschichten für verschiedene funktionelle Anwendungen
Projektleitung Marion Wienecke , Prof. Dr. rer. nat. habil.
Kürzel
Projektbeginn 01. Januar 2002
Projektabschluss 31. Dezember 2002
Projektpartner
Projektbeteiligte Institut für Oberflächen- und Dünnschichttechnik ,
Projektmittel 12000 €
Mittelgeber Hochschulinterne Förderung
Fakultät(en)
Forschungsschwerpunkte(e) Neue Materialien
Hyperlink http://www.ifod.hs-wismar.de/

Inhalt

Mit den hergereichten Fördermitteln aus dem HWP-Programm wurden die Arbeiten am Institut für Oberflächen- und Dünnschichttechnik unterstützt, an dem auf o. g. Themengebiet geforscht wird. Es wurde insbesondere verschiedene Verbrauchsmaterialien wie Beschichtungssubstrate beschafft und eine im Aufbau befindliche PECVD-Anlage (Plasma aktivierte chemische Gasphasenabscheidung) zur Herstellung von DLC (diamond like carbon – diamantähnlicher Kohlenstoff) mit einem Massflowcontroller ausgestattet. Dieses Gerät regelt die Gasströme in der PECVD-Anlage. Es wurde außerdem ein Messauftrag zur Probencharakterisierung ausgelöst.

Ziel der Arbeiten war es, die aus Drittmitteln im Aufbau befindliche PECVD-Anlage so schnell wie möglich in Betrieb zu nehmen und Schichten abzuscheiden. Die erzielten Ergebnisse sollten bei potentiellen Anwendern dargestellt werden, die am IfOD vorhandenen Technologien und Fähigkeiten sollen neuen, für das regionale Umfeld bedeutsamen Anwendungen zugeführt werden. Dazu sollten Kooperationsprojekte mit Partnern aus der Wirtschaft für verschiedene Anwendungen von DLC-Schichten erarbeitet werden.