Optimised Double Layer Plasma-Enhanced-CVD Process for DLC deposition of Germanium Substrates

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Optimised Double Layer Plasma-Enhanced-CVD Process for DLC deposition of Germanium Substrates
Autor J. Heeg, M. Rosenberg, Ch. Schwarz, T. Barfels, and Marion Wienecke
Tagung/Veranstaltung Symposium on Vaccum Based Science and Technology
Ort Greifswald
vom 01. September 2007 bis 01. September 2007
Review
Titel Proceedings
Autor Proceedings
Verlag
Erscheinungsjahr 2007