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Optimised Double Layer Plasma-Enhanced-CVD Process for DLC deposition of Germanium Substrates |
Autor | J. Heeg + , M. Rosenberg + , Ch. Schwarz + , T. Barfels + , And Marion Wienecke + |
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Erscheinungsjahr | 2007 + |
Tagung | Symposium on Vaccum Based Science and Technology + |
Tagungsort | Greifswald + |
Kategorien | Vortrag |
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September 1, 2007 + |
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