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| Optimised plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) process for double layer diamond-like carbon (DLC) deposition on germanium substrates |
| Ausgabe | 83 + |
|---|---|
| Autor | Jan Heeg + , Markus Rosenberg + , Christian Schwarz + , Torsten Barfels + , Marion Wienecke + |
| Erscheinungsjahr | 2009 + |
| Hyperlink | http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X08003229 + |
| Review | anderes + |
| SeitenzahlArtikel | 712-714 + |
| Zeitschrift | Vacuum + |
| Kategorien | Artikel |
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