Symposium on Vaccum Based Science and Technology

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Symposium on Vaccum Based Science and Technology
Kürzel:
Beteiligte Personen der HS: J. Heeg, M. Rosenberg, Ch. Schwarz, T. Barfels, Marion Wienecke
Mitwirkung bei: Panelleiter/Referent
am 01. September 2007
Ort: Greifswald
Anzahl Teilnehmer:
davon international:
Review:
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Vortrag: „Optimised Double Layer Plasma-Enhanced-CVD Process for DLC deposition of Germanium Substrates “