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Optimised plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) process for double layer diamond-like carbon (DLC) deposition on germanium substrates
Ausgabe 83  +
Autor Jan Heeg + , Markus Rosenberg + , Christian Schwarz + , Torsten Barfels + , Marion Wienecke +
Erscheinungsjahr 2009  +
Hyperlink http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X08003229  +
Review anderes  +
SeitenzahlArtikel 712-714  +
Zeitschrift Vacuum  +
Kategorien Artikel
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